离子注入机是一种用于将离子注入到半导体晶体中的设备,从而改变其电性质的装置。离子注入机的高压电源是确保离子注入过程的关键因素之一。本文将介绍离子注入机高压电源的原理图。离子注入机通常由三部分组成:高压...